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第285章 暗影潜伏

咔噠。

配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。

那双戴著脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。

嗤——!

一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺著管道內壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。

车间內,刺目的白光照亮了整个操作台。

高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺著高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。

“滴胶。”

程美丽清冷的声音在车间內响起。

一滴粘稠的原液精准滴落。

“启动旋涂。”

嗡——!

旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。

金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。

李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯著上方悬掛的雷射平整度检测仪。

红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。

滴!

大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。

0.05微米。

“不行!”

技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。

“误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到euv光源的点火標准!”

程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。

“机器没问题,是配重。”

她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。

“新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率產生了微共振。”

“停机。”

嗡鸣声骤停。

程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。

“拿配重铅块来。”

“在这里,加0.5克,微调动平衡。”

两名高级技工满头大汗地衝上来,用医用镊子夹著极小的铅块,精准卡入指定位置。

“重新点火旋转!”

主轴再次咆哮著提速。

就在这最关键的瞬间。

头顶的百叶窗內,一股极度微弱的异样气流悄然捲入车间。

滴滴滴滴!

雷射检测仪猛地爆发出悽厉的红色警报声!

“怎么回事!”

李副部长惊恐地抬起头。

大屏上,原本平滑的胶体三维扫描图上,肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。

“有颗粒!”

检测员尖叫出声,声音里透著绝望。

“胶体表面发生未知凝固反应!刚铺好的涂层要报废了!”

整个车间的空气瞬间凝固,所有人的脸色煞白如纸。

陆川站在操作台侧后方,鼻翼微动,深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。

化学凝固剂的微弱气味。

他右脚重重蹬地,修长的身躯化作一道残影,直接扑向墙边的环境控制柜。

砰!

他一拳砸碎防护玻璃,狠狠拉下最顶端的红色拉杆。

“锁死通风口!”

他头也不回地怒吼,声音如炸雷般劈开车间的恐慌。

“启动军用级內循环净化系统!”

轰——!

四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣,巨大的吸力瞬间將车间內的残余空气强行抽离。

但涂层表面的凝固颗粒已经形成。

“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软,死死扒著操作台边缘。

“闭嘴!”

程美丽厉喝一声,半步未退。

意识深处,系统面板瞬间亮起刺目的金光。

【权限確认:系统微调开关已解锁。】

她双手重重拍在操作台上,十指化作残影,疯狂敲击工业键盘,直接绕过机械保护程序。

底层控制代码被她强行撕开一条缺口。

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