光学像差实时校正算法：8项软体补偿镜头製造误差。

整机集成与对准系统：11项多模块协同、晶圆-掩模同步。

光学系统：採用非球面反射+多层镀膜技术，数值孔径na=1.35；

工件台：纳米级定位精度±1.5nm，速度达500mm/s；

控制软体：全自主开发，支持实时误差补偿；

关键突破：绕过asml核心专利，构建平行技术路径。

47项专利看起来並不多，asml一台euv光刻机，涉及超10万项专利，但是，赵崇明的47项基础性、不可绕过的底层核心专利”，这是足以构建自主技术路径，规避asml专利墙，实现“合法国產化”。

他一页页翻看，手指微微发颤。

“这……是真的？”沙瑞金抬头，眼中震惊难掩：“能打破《瓦森纳协定》封锁？”

“不是能，是已经。”

赵崇明笑吟吟的开口道：“样机正在组装，其中绝大多数的零件，我可以这么说都可以在国內实现生產，当然，一些关键的零件还是需要进口，我的计划是这样的，儘量国產，能不进口就不进口！”

沙瑞金问道：“什么时候能组装起来？”

赵崇明微笑道：“明年一季度可完成工艺验证，一旦成功，中国將首次拥有自主可控的duv光刻能力。”

他顿了顿，声音加重：“但这只是开始。”

沙瑞金顿时亢奋了：“你说！”

赵崇明继续道：“我计划以光刻机为核心，在汉东建设完整半导体產业链——

上游：特种气体、光刻胶、硅片；

中游：晶片设计、製造、封测；

下游：手机、汽车、工业控制终端。

三年內，打造千亿级產业集群。”

沙瑞金沉默良久，忽然问：“为什么选光明峰？”

赵崇明指向附图：“单宗500亩以上、双迴路供电、地下水位低、地质稳定——全汉东，只有光明峰满足class 10洁净厂房建设条件。”

沙瑞金挠了挠头，他也是理工科出来的，一些道理也不需要详细说明，当下点点头道：“好，这没问题！”

赵德汉適时补充：“沙书记，这不是崇明科技一家的事。汉东已经慢慢的从地產依赖转向製造立省，但是，我们还是缺乏一个更好的契机，我们是不是可以打造汉东智造，喊出汉东科技的口號呢？”

沙瑞金深吸了一口气，感觉到未来就在眼前。

太清晰了。

当下，沙瑞金转身，目光如炬：“如果我把地给你，你能保证什么？”

赵崇明毫不犹豫伸出了三根手指。

“第一，首台工程样机2008年12月31日前点亮！”

“第二，三年內带动上下游企业超50家落户汉东！”

“第三，所有核心技术100%自主，绝不受制於人。”

沙瑞金深深看了他一眼，忽然笑了：“好！光明峰地块，不再招拍掛，改为国家战略產业定向供地。崇明，我相信你，你不会让我失望的！”

赵崇明微微一笑：“沙书记，也不要太草率，我的专利，你也可以让专业的人来看看，確定一下它的可行性，我还可以说一句，明面这47项专利是已公开申请、可展示的核心专利，其实，暗线还有更多，涉及材料配方、控制代码等技术秘密，这些，我必须以商业秘密保护，不申请专利！”

沙瑞金点头道：“我明白！”

顿了顿，沙瑞金看著赵德汉，用一种羡慕的语气道：“德汉，你可真是有一个好儿子啊！”