2020年12月2日。

下午三点十七分，顺丰的快递车停在了鸿远飞鸟总部楼下。

苏辰亲自下楼签收。

一个不大的恆温包装箱。外面贴著“精密仪器/防震/禁止倒置“的標籤。发货方是上海硅產业集团的子公司——新昇半导体。

苏辰把包装箱拿回三楼的drie实验室，戴上无尘手套，小心翼翼地打开。

三片硅片。

300mm p型＜100＞晶向，厚度625微米。表面呈镜面般的银灰色光泽，在实验室的白炽灯下微微反光。

苏辰拿起第一片，举到灯下检查。

没有肉眼可见的缺陷。表面平整度达標。

他把三片硅片依次放入无尘储存盒，然后在方案纸上写下：

硅片到货。3/3合格。试刻蚀时间確认：12月3日。

然后他拿起手机，给周志远发了一条消息：

“硅片到了。明天早上六点开始参数计算。“

周志远秒回：“我五点五十上线。“

苏辰看了一眼这条消息，没有回覆。他把手机放在桌上，转身走向drie设备。

他需要做最后一次设备检查。

刻蚀腔体、气体管路、温控系统、真空泵——每一个部件他都亲手检查了一遍。这台drie设备是鸿远飞鸟去年花了八百万从德国採购的，是目前实验室里最贵的一台设备。

但明天它要做的事情，是这台设备的设计者从未想过的——在300mm尺度上进行高精度mems刻蚀。

因为按照博世自己的技术路线，300mm的mems刻蚀至少还需要两到三年的预研时间。

而苏辰准备用一次试刻蚀完成它。

检查完设备后，苏辰坐回实验台前。

桌上摊著二十四张草稿纸——十三张是他自己的，七张是和周志远一起推导的，四张是周志远独立完成的角向对称性降维方法。

从250mm到300mm。从一个人到两个人。从等效热弹性近似法到三阶修正模型。

所有的理论准备都已经完成。

剩下的，就是明天的六个小时计算——和那一次试刻蚀。

苏辰看了一眼窗外。深圳的12月初，天色暗得很快。路灯已经亮了。

他站起来，关了实验室的灯，锁了门。

回到宿舍，他吃了一碗泡麵，洗了个澡，定了明天五点半的闹钟。

然后上床睡觉。

他睡得很沉。没有做梦。

……

2020年12月3日。凌晨五点半。

闹钟响了。

苏辰睁开眼睛，起床，刷牙，洗脸，换上实验服。

五点四十五分，他走进了drie实验室。

打开所有设备的预热程序。drie设备的刻蚀腔体需要十五分钟达到工作温度。真空泵需要十分钟抽到工作真空度。

五点五十分，他打开电脑上的计算程序。

周志远的视频通话准时接入。

“早。“屏幕那头，周志远已经坐在了中科院力学所的办公室里。他的桌上摆著一杯咖啡和两个麵包，显然打算在这里坐一天。

“早。“苏辰说。

“参数都输好了？“

“输好了。三组温度梯度、刻蚀气体配比、功率曲线。全部按照我们最终確定的方案。“

“好。“周志远深吸一口气，“那就开始吧。“

苏辰按下了回车键。

屏幕上，计算程序开始运行。

进度条出现：0.1%。

正则化格林函数修正——角向对称性降维版本——开始计算300mm硅片在drie刻蚀条件下的三阶非线性热力学响应。

预计完成时间：5小时47分钟。

苏辰靠在椅背上，看著屏幕上缓慢移动的进度条。

“去吃个早饭吧。“周志远说，“五个多小时呢。“

“不饿。“

“那我吃了。“周志远拿起麵包开始啃。

苏辰没有回应。他的眼睛盯著屏幕，但视线似乎穿过了屏幕，看著更远的地方。

……

时间一分一秒地过去。

进度条的增长极为缓慢——每分钟大约移动0.3%。

七点整，进度12.8%。

八点整，进度23.1%。

九点整，进度33.5%。一切正常。所有中间结果都在收敛。

苏辰终於起身去倒了一杯水。

十点整，进度43.9%。周志远在北京那头已经喝完了第二杯咖啡。

十一点整，进度54.2%。

十一点十七分，计算程序弹出了一个警告框。

苏辰的身体瞬间绷紧。

他凑近屏幕——

“第七区域三阶耦合项叠代次数超出预设閾值。当前叠代：847次。预设上限：800次。“

“怎么回事？“周志远的声音从屏幕另一端传来，带著紧张。

苏辰没有说话。他飞快地打开了计算日誌，查看第七区域的数据。

300mm硅片在计算时被划分为十二个区域。第七区域位於硅片边缘偏內侧——正好是三阶非线性效应最强的过渡区域。

“是边界条件的奇异性。“苏辰说，“第七区域的温度梯度在过渡区段出现了一个局部极值，导致三阶项的叠代收敛变慢。“

“会影响最终结果吗？“

“不会。“苏辰看了三秒钟数据后说，“残差仍然在收敛，只是收敛速度慢了。把叠代上限调到1200次就行。“

他手动修改了参数，让计算继续。

进度条继续前进。

周志远鬆了一口气。但苏辰的表情始终没变——从始至终都是那种平静的、近乎冷淡的专注。

十二点零三分，进度64.7%。第七区域的叠代在第1031次收敛了。

苏辰看著这个数字，在笔记本上记下：第七区域边界过渡段三阶项收敛较慢。后续需要优化该区域的网格划分密度。但不影响本次计算结果。

午饭是林薇让前台送上来的——两份盒饭，一份是苏辰的，一份是留给他下午吃的。

苏辰用五分钟吃完了盒饭。

十二点四十五分，进度75.1%。

一点三十分，进度85.4%。

两点整，进度91.2%。

所有区域的计算结果都在收敛。三阶修正模型的预测值正在逐步输出。

两点二十分，进度95.0%。

苏辰站起来，走到drie设备前。

他从无尘储存盒中取出第一片300mm硅片，检查了一遍，然后放入刻蚀腔体的载台上。

关上墙体门。

回到电脑前。

两点四十七分。

进度条跳到了100%。

计算完成。

屏幕上弹出一个结果窗口，密密麻麻地列著数百个参数——温度、气压、功率、时间、气体流量——每一个参数都精確到小数点后四位。

这些就是300mm试刻蚀的全部工艺参数。

“完成了。“周志远的声音有些沙哑——他已经在屏幕前坐了將近九个小时。

“完成了。“苏辰说。

他开始將参数逐一输入drie设备的控制面板。

温度梯度曲线——输入。

刻蚀气体配比——输入。

rf功率曲线——输入。