十二月十九日，星期二。

深圳，苏辰的实验室。

苏辰花了整个上午审阅周志远写的第五部分。

第五部分是整篇论文中最敏感的部分——300mm的实验数据首次公开。每一个数字、每一张图表、每一段描述，都会被审稿人用放大镜检查。

他在第七页的一张sem截面图说明中標註了批註：

“这张图的標尺需要重新標註。当前標尺显示的是20μm，但图片的实际放大倍数对应的应该是10μm。审稿人如果发现標尺和图片不匹配，会直接质疑数据的可靠性。“

他在第十一页的误差分析表格中又標註了一条：

“侧壁角度的测量误差±0.018°是三次独立测量的標准偏差。建议在表格下方加一行注释说明测量方法：使用xxx型號扫描电镜，在晶圆中心、1/2半径、3/4半径三个位置各取5个测量点，共15个数据点，取標准偏差。审稿人需要知道这个数字是怎么来的。“

一共標註了十一处批註。

下午两点，他把批註发给周志远：“第五部分十一处批註。重点看第七页的標尺和第十一页的误差分析。其他的都是措辞上的小调整。“

周志远三个小时后回覆：“全部修改完成。標尺已经重新標註，误差分析加了测量方法说明。你再看一遍。“

苏辰花了四十分钟检查修改后的版本。

“没问题了。第五部分定稿。“

十二月二十日，星期三。

苏辰开始写论文第六部分的最后一节——“未来方向“。

这一节只有三段话，但他写了整整一天。

第一段討论了三阶修正模型在更大尺度晶圆上的理论预测。他把400mm的外推数据放在这里，標註为“理论外推“，附上了完整的计算参数和边界条件。

第二段討论了三阶修正模型在其他热弹性耦合场景中的潜在应用。他列举了三个方向：薄膜应力控制、纳米压印模具热变形补偿、以及振动传感器的温度漂移预测。

他在写第三个方向的时候停了很久。

振动传感器的温度漂移。

这正是石川明的研究领域。

他没有在论文中提到石川明的名字，也没有引用石川明的论文。他只是在这一段的末尾写了一句话：

“三阶修正模型的一般性框架使其理论上適用於任何以热弹性耦合效应为主导的微纳製造与传感系统。这一普適性的验证需要不同领域研究者的独立实验，本文作者期待这样的合作。“

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这句话是一个公开的邀请——不是对某个人的邀请，而是对整个学术界的邀请。

第三段是全文的最后一段。苏辰写道：

“本文提出的三阶非线性扩展並非刻蚀工艺的终点，而是一个理论起点。12.07°的侧壁角度和±0.018°的控制精度证明了模型在300mm尺度上的有效性，400mm的理论外推则暗示了更大尺度上的进一步提升。这些结果共同指向一个基本事实：当我们以足够精確的数学工具描述热弹性耦合的物理过程时，工程极限將由物理定律而非经验公式来定义。“

他读了三遍这段话。然后把“暗示了“改成“预示了“。又把“预示了“改回“暗示了“。

最后他保留了“暗示了“。

因为400mm还没有实验验证。在实验验证之前，理论外推只能“暗示“，不能“预示“。

措辞上的差异微乎其微，但在nature materials的审稿標准下，这种差异可能决定审稿人是提出“minor revision“还是“major revision“。

十二月二十一日，星期四。

周志远完成了全文参考文献的统一整理。

最终引用了48篇文献。博世相关3篇，全部是drie领域不可迴避的经典文献。苏辰之前要求刪除的那篇2019年热应力补偿文献没有出现在列表中。

他给苏辰发了参考文献列表：“48篇。你確认一下有没有需要增刪的。“

苏辰花了二十分钟逐一检查。

“刪第31篇。那是一篇2017年的会议论文，数据后来被作者自己修正了。引用过时数据会被审稿人挑出来。换成同一作者2019年发在journal of micromechanics and microengineering上的修正版。“

周志远：“好。其他的呢？“

苏辰：“其他没问题。47篇確认。“

十二月二十二日，星期五。

下午三点。

苏辰和周志远同时在线。

苏辰把论文第六部分的最终稿发给周志远。周志远把整理好的参考文献、致谢部分和补充材料发给苏辰。

然后两个人开始合稿。

合稿的过程比想像中复杂。六个部分由两个人分別撰写，虽然符號系统已经提前统一，但行文风格仍然有差异。苏辰写的部分更简洁、更直接，周志远写的部分更详尽、更注重推导过程的可读性。

他们花了三个小时调整全文的行文风格，使其儘可能统一。

到下午六点的时候，合稿完成。

全文六部分，加上摘要、引言、参考文献和补充材料，总计六十八页。

標题：《热弹性耦合效应的三阶非线性扩展：理论框架、实验验证与尺度外推》

作者：苏辰12，周志远3

1 薇澜微系统（深圳）有限公司

2 清华大学精密仪器系（在读博士）

3 清华大学精密仪器系

摘要的最后一句话是：

“本文提出的三阶非线性扩展框架为热弹性耦合效应的精確描述提供了一般性理论工具，其適用范围超越特定的刻蚀工艺，可推广至任何以热弹性耦合为主导的微纳製造与传感系统。“

周志远看著合稿后的完整论文，沉默了很久。

然后他打了一行字：“三个月。从你第一次在我办公室的白板上写下三阶修正的想法，到现在合稿完成，三个月。“

苏辰回覆：“是你把第二部分从九页重写到十七页，才让这篇论文有了投nature materials的资格。如果只是按jmems的標准写，这篇论文的影响力会小很多。“

周志远：“理论是你的。框架是你的。300mm的数据是你的。我只是把这些东西用审稿人看得懂的语言重新包装了一遍。“

苏辰没有回覆。