晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤,观察窗內最后一轮拋光流程刚刚结束。
郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。
“应力分布达標,表面粗糙度0.2纳米——成了!”
他猛地拍下停止键,熔炉缓缓熄火。
张海生立刻操作机械臂,泛著金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起,精准转移至隔壁的雷射微刻蚀系统工位。
晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影,光滑如镜。
“启动投影编程!”
郑飞光的声音带著紧绷的兴奋。
周瑶同步在控制台输入指令,杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。
嗡鸣声中,设备顶端的蓝色光源骤然亮起。
没有实体掩膜板,只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光点构成的立体神经网络图谱。
那些交错的光路细如蛛丝,却清晰映射出光子微处理器的核心结构。
“这就是无光刻?”
张海生屏息盯著光网。
某个新人忍不住低呼。
“光束在自动调整密度!”
只见投影光点正根据晶圆实时反馈,动態收缩边缘区域的亮度,避免过度曝光。
“杨主管的算法在补偿曲面畸变。”
“传统光刻做不到这种实时修正。”
投影光束持续扫过晶圆。
当最后一条光路轨跡隱没的瞬间,周瑶的终端弹出提示,投影编程完成。
晶圆表面看似毫无变化,但郑飞光调出显微监测画面。
一道比髮丝细万倍的浅层光敏纹路已烙印在硅基底上,如同冰面下的暗痕。
杨辰的声音突然切入。
“转蚀刻区。”
他不知何时已站在蚀刻设备旁,手指悬在启动键上。
这台方型机器外壳灰黑粗糲,唯一显眼的是顶部碗口大的石英窗口,內部隱约透出紫光。
“光源充能!”
郑飞光高喊著拉下隔离闸。
设备內部传来蜂群振翅般的低频震动,窗口陡然迸发漩涡状紫色流光。
没有热量辐射,但所有人心头莫名一悸。
张海生瞥见周瑶终端的数据流,光波频率数值疯狂跳动,远超可见光谱范围。
“定。”
杨辰按下启动键。
漩涡紫光骤然坍缩成一束凝实的射线,穿透石英窗打在晶圆正中央!
被投影编程標记的区域瞬间气化,刻蚀深度精確至原子层级。
更诡异的是,蚀刻路径竟沿著早先的光敏纹路自动蜿蜒,仿佛两者存在某种无形纽带。
“蚀刻光源在跟踪投影標记……”
张海生脱口而出。
晶圆表面腾起纳米级的硅尘雾,又被实时抽走的负压气流瞬间捲走。
紫色光束像一支无形刻笔,在45纳米的战场上凿出第一条光子通路。
蚀刻区的主光源在完成最后那1%的深度后,如同耗尽最后一丝气力般,光芒极微弱地闪烁了一下,隨后彻底熄灭。