熔炉稳定运行的声音低沉而有力,像这新实验室搏动的心臟。
透过观察窗,能看到新生的硅晶柱在精密控制下缓慢生长、拋光,向著作为核心基底的45纳米厚度和完美晶格结构的目標迈进。
杨辰站在处理区外,看著里面忙碌调试的郑飞光和新人们,以及那正在孕育中的光滑晶圆。
眼神中没有催促,只有对每一个流程节点开始运转的冷静確认。
晶圆处理区的稳定运行声,成了这新战场第一声清晰的任务號角。
熔炉中的硅晶柱在精密的热场中缓慢生长、旋转,晶格结构逐层结晶成型。
郑飞光紧盯著屏幕上的参数流,温度、压力、旋转速度,没有一丝波动。
张海生和新人们屏息凝神地记录著数据,每一双眼睛都聚焦在观察窗內的晶圆上。
终於,熔炉指示灯转为绿色,伴隨著一声微弱的提示音。
“基底晶圆达到45纳米要求,表面光滑无瑕疵,应力分布均匀,完全符合清单標准。”
杨辰站在处理区外,目光沉稳,微微頷首。
“好,准备下一步。”
他没有多言,但语气中透著確认的力道。
周瑶迅速操作平板,確认材料数据无误。
“晶圆已自动送入转移系统。”
她指向旁边雷射微刻蚀区的入口。
一道机械臂无声滑行,轻柔地取出处理完成的晶圆,送入那排崭新的雷射设备前。
郑飞光立刻引导张海生等人转移注意力。
“走,这次不是看温度表了!”
他快步走到雷射微刻蚀系统前,拍著冰冷的金属外壳。
“这叫无光刻投影编程,不用传统的掩膜板,直接用光束把设计图像画上去。”
晶圆被稳稳安置在雷射工位中央。
郑飞光在控制面板上输入指令,周瑶同步发送杨辰早先传来的设计模型。
“投影编程启动!”
郑飞光提醒道。
“看好了,光束会按照內部程序投射出特定图案,每一道光线都在晶圆表面精细定位。”
设备嗡鸣声低响,一道柔和的蓝光从设备投射<i class=“icon icon-unie02f“></i><i class=“icon icon-unie017“></i>出,在半空中形成一个半透明的光网图像。
那不是简单的线条,而是一个复杂的、像神经脉络般的网状图案,精准地覆盖在晶圆表面。
张海生惊嘆地低声问。
“这就是编程图像?”
郑飞光点头。
“对,它是內部电脑根据参数生成的,直接映射到晶圆上。”
杨辰走近一步,双手背在身后,默默观看著光束在晶圆上游移。
光线扫过之处,晶圆表面微不可察地发生著变化,如同被无形的刻刀雕刻。
整个过程没有火花或强烈声响,只有一种近乎无声的精確操作。
新人们眼睛瞪得圆圆的,连呼吸都放轻了,生怕打扰这片光影的舞蹈。
郑飞光检查投影状態。
“编程进度稳定,预计10分钟內完成图案投射。”
实验室的空气仿佛被这无形的光束压缩,眾人都在等待这关键一步的完成。